阿斯麦与imec签署备忘录 共同开发最先进high-NA EUV微影试验制程

  • 发表于: 2023-06-29 22:06:11 来源:中钢网


(资料图)

【阿斯麦与imec签署备忘录 共同开发最先进high-NA EUV微影试验制程】据科创板日报,比利时微电子研究中心(imec)与阿斯麦(ASML)今日宣布,双方已签署备忘录加强合作,共同开发最先进high-NA极紫外光(EUV)微影试验制程。双方指出,该试验制程的目标是协助采用半导体技术的所有产业,并提供一套能在未来支援创新的原型设计平台。

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